氣路系統(tǒng) 氣路盤是七星流量計開發(fā)的氣路輸送系統(tǒng)的解決方案,該產(chǎn)品通過對氣路原理圖的設(shè)計,加工和測試,以隔膜閥,調(diào)壓閥,壓力傳感器,過濾器,MFC等零部件實現(xiàn)對多種工藝氣體的壓力調(diào)節(jié),純度過濾,流量控制等功能,目前市場上常用的為傳統(tǒng)VCR型氣路盤和氣體輸送集成控制系統(tǒng)(Integrated Gas System),即IGS氣路盤,這兩種氣路盤業(yè)務(wù)七星流量計都有能力承接。
氣路盤是七星流量計開發(fā)的氣路輸送系統(tǒng)的解決方案,該產(chǎn)品通過對氣路原理圖的設(shè)計,加工和測試,以隔膜閥,調(diào)壓閥,壓力傳感器,過濾器,MFC等零部件實現(xiàn)對多種工藝氣體的壓力調(diào)節(jié),純度過濾,流量控制等功能,目前市場上常用的為傳統(tǒng)VCR型氣路盤和氣體輸送集成控制系統(tǒng)(Integrated Gas System),即IGS氣路盤,這兩種氣路盤業(yè)務(wù)七星流量計都有能力承接。
隨著半導(dǎo)體領(lǐng)域的發(fā)展,對零部件小型化的提出了更高的要求,傳統(tǒng)的VCR氣路盤難以滿足要求,IGS型氣路盤應(yīng)運而生,它具有氣體直方向運輸,體積小,便于安裝維護等特點,是未來氣路輸送系統(tǒng)發(fā)展的方向;經(jīng)過MFC多年研發(fā)經(jīng)驗的沉積,七星流量計的IGS氣路盤具有高密封性,高精度,集成度高等優(yōu)點,并可以依托七星流量計建立的特氣實驗室對特殊氣體進(jìn)行研究測量,保證IGS氣路盤的特殊氣體控制的高準(zhǔn)確性。
氣路系統(tǒng)優(yōu)勢:
• 提供定制化服務(wù)。
七星流量計具有IC級復(fù)雜氣路盤的設(shè)計能力,可以按照客戶的需求進(jìn)行氣路盤的設(shè)計更改和定制化服務(wù)。
• 多年的MFC生產(chǎn)經(jīng)驗,保證氣路盤的品質(zhì)。
七星具有多年研發(fā)和生產(chǎn)MFC的經(jīng)驗,可嫁接到氣路盤的設(shè)計和生產(chǎn)中,對氣路盤的裝配和測試工藝不斷優(yōu)化,保證氣路盤的品質(zhì)。
• 良好的性價比。
同等難度的氣路盤,七星流量計的*同類競品。